全站仪进行距离测量的步骤如下：
1、设置棱镜常数：在测距前，需要将棱镜常数输入仪器中，这样仪器会自动对所测距离进行改正。
2、设置大气改正值或气温、气压值：光在大气中的传播速度会随大气的温度和气压而变化。15℃和760mmHg是仪器设置的一个标准值，此时的大气改正为0ppm。实测时，可以输入温度和气压值，全站仪会自动计算大气改正值(也可直接输入大气改正值)，并对测距结果进行改正。
3、量仪器高、棱镜高并输入全站仪：这是进行距离测量的重要步骤，需要准确测量并输入这两个高度值。
4、距离测量：照准目标棱镜中心，按测距键，距离测量开始。测距完成时，仪器会显示斜距、平距和高差。
在全站仪中，测距模式有精测模式、跟踪模式和粗测模式三种。精测模式是最常用的测距模式，测量时间约2.5秒，最小显示单位1mm。跟踪模式常用于跟踪移动目标或放样时连续测距，每次测距时间约0.3秒，最小显示一般为1cm。粗测模式测量时间约0.7秒，最小显示单位1cm或1mm。在距离测量或坐标测量时，可以按测距模式(MODE)键选择不同的测距模式。
以上步骤完成后，全站仪就完成了距离测量。请注意，在测量过程中，全站仪的校准是确保测量结果准确性的关键步骤。校准过程中，全站仪会进行内部参数的调整，以保证测量结果的准确性。
