全站仪直角坐标法测量通常包括以下步骤：
1、设置测站点：
选取一个已知坐标的点作为测站点，并在此处安置全站仪。
通过全站仪的输入功能，输入测站点的坐标(X、Y、Z)及仪器高。
2、设置后视点：
在测区范围内选取另一个已知坐标的点作为后视点。
通过全站仪的望远镜对准后视点，并输入后视点的坐标(X、Y、Z)及目标高(棱镜高)。
通过后视点的观测，全站仪会自动计算出测站点到后视点的方向角，并设定为初始方向。
3、开始测量：
在需要测量的目标点上放置棱镜。
通过全站仪的望远镜对准棱镜，进行水平角和垂直角的观测。
同时，全站仪会测量出测站点到棱镜点的斜距。
4、坐标计算：
全站仪根据测站点坐标、后视点坐标、水平角、垂直角和斜距，通过内置的三角函数计算程序，自动计算出目标点的坐标(X、Y、Z)。
5、记录与检查：
将计算出的目标点坐标记录在测量记录本上。
对测量结果进行必要的检查，确保测量精度满足要求。
6、继续测量：
如果需要继续测量其他点，只需在目标点上更换棱镜，并重复步骤3至5。
7、结束测量：
当所有需要测量的点都测量完毕后，关闭全站仪并收拾好设备。
注意事项：
在测量过程中，要确保全站仪和三脚架稳定，避免产生不必要的误差。
在对准棱镜时，要确保望远镜十字丝中心对准棱镜中心，以获得准确的观测数据。
在输入坐标和仪器高、棱镜高等数据时，要确保输入正确，避免因数据输入错误导致测量结果不准确。
在测量过程中，要注意天气和环境因素的变化，如温度、气压、风速等，这些因素可能会对测量结果产生影响。如有需要，应及时进行大气改正。
